東京エレクトロン企業解説参考・出典 https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%9D%B1%E4%BA%AC%E3%82%A8%E3%83%AC%E3%82%AF%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%B3
http://www.nicovideo.jp/watch/sm40171361